ASML现在的局面,就像当年佳能、尼康,面对浸润式光刻机一样

ASML现在的局面,就像当年佳能、尼康,面对浸润式光刻机一样

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ASML现在的局面,就像当年佳能、尼康,面对浸润式光刻机一样

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ASML现在的局面,就像当年佳能、尼康,面对浸润式光刻机一样

如果大家关注光刻机的发展历史就会知道 , 别看现在的荷兰ASML很厉害 , 但在早期真的只是一个小厂 , 日本的尼康、佳能比ASML牛很多 。
当年的尼康、佳能 , 根本就没有将ASML放在眼里 , 因为ASML技术不行 , 市场份额更是毫无可比性 , 没有逆袭的可能性 。

转折点是什么呢?
当时尼康、佳能们已经研发出了DUV光刻机 , 采用193nm波长的光源 。 而在这种DUV光刻机后 , 尼康、佳能觉得应该进一步缩短光源的波长 , 实现分辨率的提升 。
尼康佳能押宝的是157nm波长的光线 , 觉得应该从193nm , 提升至157nm 。 不过157nm的光线非常不好搞 , 穿透率很差 , 容易被空气吸引 , 所以尼康佳能在不断的改进技术 。

这时候台积电的林本坚觉得 , 为什么要去搞157nm波长的光刻机呢 , 在193nm波长的光线前面 , 加一层水 , 而193nm波长的光线 , 通过水的折射后 , 变成134nm了 , 比157nm波长更短了 。
同时134nm的光线穿透性也好 , 更不容易被吸引 , 不是比157nm光线强多了么?
但尼康、佳能觉得自己在157nm波长已经投入了几十上百亿研发 , 机器就要量产了 , 我才不去搞什么加水的方式 , 以前大家没用过水来当介质的 。
【ASML现在的局面,就像当年佳能、尼康,面对浸润式光刻机一样】
只有ASML觉得这可能是自己的机会 , 反正光脚的不怕穿鞋的 , 赌一把了 , 就和台积电配合 , 把这种浸润式DUV光刻机搞了出来 。
浸润式光刻机 , 采用193nm波长 , 经过水折射后变成134nm , 比尼康佳能搞的157nm光刻线更厉害 , 同时成本也低一些 , 而尼康、佳能死守望157nm , 最后是一步错步步错 , 再也追不上ASML了 。

而现在其实ASML也就像当年的尼康、佳能一样 , 面对浸润式光刻机一样 。
为何这么说呢 , 目前13.5nm波长的极紫外线光刻机 , 其实已经被ASML发挥到极致了 , 从NA=0.33 , 提升至NA=0.55了 。 但ASML还计划继续提升NA , 达到0.75 。
而提升NA是非常困难的 , 就相当于尼康、佳能们当年想从193nm提升至157nm一样 , NA提升 , 各种元件都要提升 , 难度大 , 成本高 。

而此时 , 其它光刻机厂商们 , 也像当年的ASML一样 , 反正光脚的不怕穿鞋的 , 去研究采用6.8nm、4.4nm光线技术去了 , 还有的去研发NIL、DSA、BEL等各种技术去了 , 都想换一条与ASML这种提升NA的方式 。
至于最后是这些小厂商 , 像当年ASML革了尼康、佳能的命 , 还是ASML继续称霸光刻机市场 , 就不得而知了 。
反正现在的ASML , 也就像当年尼康、佳能面对浸润式光刻机一样 , 是革自己的命 , 还是坚持自己的方向 , 让别人来革命?当然现在谁也说不出谁对谁错 , 只能交给时间了 。

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