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目前全球只有一家厂商 ， 能够制造EUV光刻机 ， 那就是ASML 。
而全球目前几乎所有的7nm以下的芯片 ， 均采用EUV光刻机来制造 ， 所以EUV光刻机 ， 代表的就是全球先进芯片工艺 。
考虑到EUV其实也是一代又一代升级 ， 推动着芯片工艺的发展的 ， 所以如果EUV光刻机一旦停止 ， 全球的芯片工艺可能也会停止 。
而从目前的情况来看 ， 目前ASML的EUV光刻机 ， 前方已经无路可走 ， 可能要走进死胡同里了 。
之前ASML推出的EUV光刻机 ， 是NA=0.33的光刻机 ， NA代表的是数值孔径 ， 数值孔径越大 ， 进入的光线越多 ， 功率就越大 ， 分辨率就越高 ， 制造的芯片就越先进 。
NA=0.33的光刻机 ， 售价大约是1.5亿美元一台 ， 也是当前台积电、三星、英特尔们主要采用的EUV光刻机 。
不过ASML认为 ， 到了2nm时 ， 应该要换成另外一种光刻机 ， 也就是NA=0.55的光刻机 ， NA大了 ， 分辨率就更高了 ， 制造更先进的芯片时 ， 就更容易了 。
但这种NA=0.5的光刻机有个缺点 ， 就是贵 ， 售价高达4亿美元一台了 。
所以目前才卖出5台 ， 反正台积电称自己不感兴趣 ， 因为太贵了 ，计划再研究研究现有的EUV ， 将NA=0.33的EUV光刻机 ， 尽量用到1.4nm再说 ， 换成新的？台积电说不划算 。
这对于ASML而言 ， 是一个巨大打击 ， 从NA=0.33到NA=0.55 ， ASML研发了10年 ， 花了几上百亿美元 ， 最后如果没人买单 ， 研发就打了水漂了 。
而在ASML的计划中 ， 之后其实还有NA=0.75的Hpyer NA EUV光刻机的 ， 不过据称这种光刻机 ， 其售价可能会高达8亿美元 。
可以想象的是 ， 这种光刻机制造出来 ， 谁敢买单？毕竟这价格 ， 要制造多少块芯片才能回本？
所以现在业内人士认为 ， 其实ASML的这种EUV光刻机 ， 其实前面是无路可走了 ， 再继续提升NA是毫无意义的 ， ASML的方向 ， 不是去提高数值孔径 ， 而是换一种另外波长更短的光刻机了 ， 而不是死守13.5nm波长的光线了 。
因为波长一变短 ， NA、分辨率等问题就迎刃而解了 ， 且科学界目前正在寻找合适的 6.7nm 和 4.4nm 波长的光源 ， 但ASML却想着基于13.5nm波长 ， 继续提高数值孔径 ， 没想着换一个方向研发 。
【方向错了？ASML的EUV光刻机，要走进死胡同了？】当然 ， 现在一切都只是推测 ， ASML是不是真方向错了 ， 或者未来6.7nm、4.4nm波长的光刻机才是出路 ， 只能用时间来验证了 。
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