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混合键合 , 被推到了台前 。
在Yole最新的预测中 , 混合键合是先进封装中最陡峭的增长曲线 。 三星、SK 海力士都表示 , 到HBM 5时就会用上混合键合技术 。
目前 , 韩美半导体宣称砸1000亿韩元开发下一代混合键合技术;LG 电子瞄准HBM应用的混合键合设备;国内拓荆科技将混合键合设备视为第二增长曲线 。
混合键合的时代到了 。
01先进封装的转变封装 , 已经成为驱动摩尔定律发展的重要因素 , 先进封装更是如此 。
一般来说 , 封装模式的发展 , 伴随着键合方式的改变 , 键合发展的主线是实现更高密度的互联和更小的封装尺寸 。
封装史上 , 经历过多次转变 。
倒装芯片(Flip-Chip) , 作为封装史上的“常青树” , 起源于20世纪60年代 , 是迄今应用最广、技术最成熟的方案之一 。
把芯片功能区朝下以倒扣的方式背对基板 , 通过Bump和基板进行互联 。 不过 , 其核心短板也随芯片集成度提升愈发明显:倒装的回流焊是在炉里进行的 , 整个电路板都会被加热 , 冷却过程中因热膨胀系数不匹配可能造成键合减弱或芯片翘曲 。
热压键合(TCB) , 由英特尔和ASMPT公司联合开发 , 在2014年导入量产 。 其核心创新在于 “局部加热” 。
从顶部逐片对芯片施加热与压力实现键合 , 并且在芯片和基板热压键合的时候 , 不是加热整个基板 , 而是对芯片及其焊球加热 , 从而减小翘曲风险 , 兼顾了可靠性与封装效率 , 恰好契合了高带宽存储器(HBM)这类高密度堆叠产品的需求 。
正因如此 , 目前三星、SK 海力士、美光等巨头的 HBM 产品 , 均将 TCB 作为标配封装方案 , 使其稳稳占据当前先进封装的“主流席位” 。
混合键合 , 最大的特点就是无凸块连接 。 尽管TCB 技术解决了热胀问题 , 但封装行业对 更高密度互联的追求从未停止 , 而混合键合技术的出现 , 正是跳出了传统方案依赖凸块(Bump)的固有框架 。
之前 , 在封装的时候 , 采用的都是基于焊料的凸块技术 , 现在混合键合能够采用铜对铜的连接 , 这就带来了三方面好处:第一 , 顶部芯片和底部芯片彼此齐平;第二 , 芯片间无凸块 , 能够微缩到超细间距;第三 , 不使用焊料 , 避免了与焊料相关的问题 。
从技术迭代逻辑来看 , 混合键合与TCB并非简单的“替代”关系 , 而是针对不同需求场景的互补方案 。
TCB 凭借成熟度和成本优势 , 仍是HBM等量产产品的首?。 换旌霞显蛎樽嘉蠢锤呒啥鹊男酒枨?, 比如3D堆叠层数突破20层的先进存储、算力密度极高的AI芯片等 , 成为行业布局下一代封装技术的核心方向 。
从市场来看 , TCB封装还是主流 。 Yole Group 估计 , 2025 年 TCB 键合机的收入约为 5.42 亿美元 , 预计到 2030 年将增长到约 9.36 亿美元 , 复合年增长率为 11.6% 。 订单量追踪着 HBM3E 的产能爬坡和向更厚堆栈的过渡 , SK 海力士和美光在 2025 年上半年进行了大额采购 。
据摩根大通预测 , HBM用TCB键合机的整体市场规模将从 2024 年的 4.61 亿美元增长至 2027 年的 15 亿美元 , 增长两倍以上 。
目前 , TCB键合机市场目前呈“六强格局” 。 其中 , 韩国有韩美半导体、SEMES、韩华SemiTech , 日本有东丽(Toray)、新川(Shinkawa) , 新加坡则有ASMPT 。 在这之中 , 韩美半导体在HBM TCB键合机市场上拥有最高的市场占有率 。
TCB设备的火热 , 从韩美半导体的业绩中能够一窥究竟 。 韩美半导体近日发布的业绩预告显示 , 公司预计2025年第一季度合并营收达1400亿韩元(约6.9亿元人民币) , 营业利润达686亿韩元 。 与2024年同期相比 , 营收增长81% , 营业利润增幅高达139% 。 并且 , 今年4月 , 韩美半导体已经正式通知韩国本土客户 , 用于制造HBM的TCB价格上涨25% 。
02混合键合 , 应用多样混合键合的提出 , 刷新了行业内封装的方式 , 也标志着半导体集成电路技术发生了根本性的转变 。
目前混合键合有两种方式:一种是把单一尺寸的单个芯片键合到更大尺寸芯片的晶圆上(die-to-wafer:D2W) , 另一个是将两块相同尺寸的整块晶圆键合在一起(wafer-to-wafer:W2W) 。
第一个吃螃蟹的是索尼 。 在2015年 , 索尼在CMOS图像传感器中应用了Cu-Cu直接键合 , 成为了第一个混合键合量产的产品 。 后来的一段时间里 , 混合键合一直用在CMOS图像传感器上 。 随着混合键合技术的成熟 , 逐渐走向了逻辑、3D NAND、HBM等场景 。
2022年 , AMD推出了首款垂直缓存(V-Cache) 游戏处理器 Ryzen 7 5800X3D 。 这款处理器把计算和I/O 功能划分到独立的 Chiplet 中 。 其中最特别的一点就是 , 在计算 Chiplet 顶部增加了一个堆叠的 SRAM 扩展芯片 , 将 L3 缓存从 32 MB 扩展到 96 MB 。 这块额外的内存是在单独的芯片上制造的 , 但是用了混合键合进行连接 , 让扩展的缓存能够像直接集成在计算芯片上一样运行 。
AMD Instinct MI300 系列架构芯片堆栈
2024年 , AMD又推出了一款使用混合键合技术的芯片——专为 AI 训练应用而设计的 Instinct MI300 系列 。 凭借MI300 , AMD 在利润丰厚的 AI 硬件市场上与 Nvidia 展开直接竞争 。
在3D NAND领域 , 长江存储Xtacking架构 , 将CMOS和存储阵列进行混合键合 , 实现了更高的密度、更小的面积以及更快的速度 。 Xtacking 4.0能够实现IO速率3600MT/s 。 铠侠在最新的BiCS8 218 层 3D NAND 中采用了 CMOS 直接键合阵列 (CBA) 。
03混合键合 , 大热尽管应用的领域众多 , 但对于混合键合需求最突出的还是在HBM上 。
不同于普通的内存更迭周期 , HBM更新换代的速度越来越快 。 GPU供应商正在将新技术发布的频率加快到每年一次 , 这比内存标准的典型刷新周期要快得多 。 传统内存技术的转型通常需要四到五年时间 , 而HBM现在每两到两年半就会更新换代一次 。
这对HBM提出了更高的要求 。
韩国“海力士HBM 之父”Joungho Kim在今年强调:混合键合等新兴技术 , 将对未来内存设计起到决定性作用 。
【混合键合,大热】未来HBM 设计可能需要数十万甚至数百万个硅通孔 。 为支持如此高的密度 , 线路间距需大幅缩小 。 Joungho Kim认为 , 传统热压键合设备将难以跟上需求 , 混合键合技术因此变得不可或缺 。 目前键合间距仍处于数十微米级别 , 而下一代技术必须达到 1 微米级别 。
分析机构TrendForce集邦咨询表示 , 三大 HBM 内存巨头在对堆叠高度限制、I/O 密度、散热等要求的考量下 , 已确定于HBM5 20hi(20层堆叠)世代全面应用混合键合技术 。
三星这边 , 在首尔举行的人工智能半导体论坛上透露 , 该公司计划在其HBM4中采用混合键合技术 , 以降低发热量并实现超宽内存接口 。 此外 , 今年 , 三星也与长江存储签署了堆叠400 层NAND 所需的混合键合技术的专利许可协议 。
SK 海力士在2023年就宣布 , 其用于HBM制造的混合键合工艺已获得可靠性认证 。 SK海力士第三代HBM(HBM2E)将DRAM堆叠成8层 , 在使用混合键合工艺制造后 , 通过了所有方面的可靠性测试 。 在今年4月 , SK海力士副总裁表示 , SK海力士正在推行混合键合在 HBM 上的应用 。 目前正处于研发阶段 , 预计最早将应用于HBM4E 。
美光在2022年就从Xperi获得了Cu–Cu混合键合的授权 , 其HBM3E芯片封装采用了铜硅混合键合工艺 。
火热的混合键合领域 , 也成为众多设备企业竞相追逐的焦点 。
在混合键合赛道 , 全球混合键合设备市场主要由国际龙头企业主导 , 其中荷兰BESI是该领域的龙头 , 市占率高达67% 。 2021年至2024年 , 公司累计混合键合订单已经超过100套 , 2024年首批100nm精确度的混合键合设备出货 , 并计划在2025年底实现50nm精确度的混合键合设备 。
韩美半导体也将混合键合视为未来更高HBM堆叠的关键 。 最近 , 韩美半导体率先掷下 “重磅炸弹” , 宣布将豪掷 1000 亿韩元 , 全力进军混合键合技术的研发与生产领域 。 韩美半导体还制定了明确的设备发布规划 , 计划在2027年底前成功推出混合键合机设备 。
无独有偶 , ASMPT也在混合键合获得进展 。 从2021年开始布局混合键合 , ASMPT在2024年第三季度向一家逻辑客户交付了首台混合键合设备 , 并获得了两台用于HBM应用的下一代混合键合设备的首次订单 , 预计将于2025年第三季度交付 。
7月份 , LG电子下属的生产技术研究所(PTI) 也传出已启动混合键合设备开发 , 目标在2028年实现大规模量产 。
总而言之 , 混合键合技术的崛起 , 是半导体产业在摩尔定律逼近物理极限时的必然选择 。 从设备企业的重金投入 , 到各大厂商在不同领域的积极应用 , 都彰显出其蓬勃生命力 。 只有提前布局技术、构建产业链优势的玩家 , 才能在半导体产业的下一轮竞争中 , 握住决定格局的“关键筹码” 。
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