美国禁售EUV光刻机?即将没有意义了,我们有2个方向突破了

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美国禁售EUV光刻机?即将没有意义了,我们有2个方向突破了

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美国禁售EUV光刻机?即将没有意义了,我们有2个方向突破了

光刻机 , 是当前芯片制造流程中 , 最核心最重要的一环 。 因为几乎所有大规模量产芯片的技术 , 都离不开光刻 , 所以就离不开光刻机 。
而为了卡住中国芯片产业的脖子 , 美国限制ASML将先进的光刻机卖给中国 , 特别是EUV光刻机 , 连先进的浸润式DUV , 也不准卖 。

而光刻机 , 与芯片工艺是对应的 , EUV光刻机对应的是7nm以下的芯片制造 , 而浸润式光刻机 , 先进的型号 , 可以制造7nm芯片 。
所以美国的目的很直接 , 那就是锁住我们 , 不能往7nm以下工艺进发 , 因为这样那么先进的芯片我们制造不出来 , 就得找美国买 , 美国就卡住我们了 , 可以获得经济上的 , 政治上的利益 。

但是经过这么多年的努力 , 很明显 , 美国限制ASML的光刻机销售 , 即将没有意义了 , 因为我们已经有2个方向 , 有突破了 , 未来不需要EUV , 我们也一样能够制造出5nm芯片出来 。
第一个方向 , 是NIL纳米压印 , 佳能之前就制造出来了能制造5nm芯片的纳米压印机 , 可以替代EUV光刻机的 。
而国内璞璘科技 , 也制造出了首台PL-SR系列喷墨步进式纳米压印设备 , 线宽<10nm , 可以用于芯片、封测等领域 , 同样可以制造5nm及以来的芯片 。

第二个方向是EBL电子束技术 , 浙江大学成果转化基地 , 推出了首台国产商业化电子束光刻机 “羲之” , 其精度达 0.6nm、线宽 8nm , 无需掩膜版 , 也能够直接制造5nm及以下的芯片 。
这两个方向 , 都是可以替代EUV光刻机的方向 , 有了这样的设备 , 不需要EUV一样能制造先进芯片 。

目前这两种设备 , 都不是PPT , 是已经研发出来了 , 交付给客户在进行测试 , 以及与相关其它设备的联调 , 最终建设整个生产线 。
当然 , 缺点也不是没有 , 因为芯片制造是一整套的 , 光刻机只是其中一环 , 还需要其它设备配合 , 国内的这两种设备 , 目前还缺这一整套芯片制造生态 , 需要一点时间 。

另外就是这两种设备 , 功率效率上还比不过EUV光刻机 , 但相信迭代几次后 , 就能够一定程度上替代EUV了 , 就像EUV第一代 , 也不行一样 。
【美国禁售EUV光刻机?即将没有意义了,我们有2个方向突破了】所以说 , 真的要不了多久 , 美国不允许ASML将EUV卖给我们 , 也没有意义 , 我们可以绕道超定 , 用另外的方向 , 制造出自己的先进芯片 , 到时候所谓的芯片禁令就成废纸 , 芯片战争彻底结束 。

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