这对整个光路的系统的要求是非常非常非常苛刻的 。如下图所示，这是一个光刻机光学系统的设计图，极紫外光刻需要经过很多次的反射才能最终成为可用的光波，如其中有一个环节出现问题，那么就会功亏一篑，这对于反射玻璃表面的平整度以及材料的反射率都提出了极高的要求 。而这些部件目前只有蔡司一家可以生产，蔡司生产的的多层膜反射镜表面粗糙度可以控制在海拔1mm以内，反射率可以达到70%左右，是目前地球上平整度最高，反射率最高的反射镜了 。
LPP EUV 光源和多层膜反射光学系统，DUV光刻曝光镜头 来自蔡司大家从这一点就可以看出，蔡司和徕卡根本就不是一个级别的对手 。VIVO 蔡司
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