晶圆制造到底难在哪?或者说为何会被垄断,这里面除了产能供应不足外,最关键的还是技术,目前国内在8英寸晶圆制造的技术已经非常成熟了,但在12英寸晶圆制造方面,技术有待提升 。主要源于半导体产品对晶圆纯度要求极高,以及光刻工艺要求较高 。光刻胶由于芯片尺寸越来越小,对光刻胶分辨率、对比度及敏感度要求也越来越高,从而需要不断调整光刻胶的硬度、柔韧性、附着力及热稳定性等多方面的性能,以满足晶圆制造的需求 。
正因为这种特性,光刻胶的生产工艺越来越复杂,纯度要求也更高,需要长期的技术积累,而中国在这方面积累比较薄弱 。光刻胶按曝光波长可分为 G-line、I-line、KrF、ArF d
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