相比之下,中国完全自主生产的光刻机只有可怜的90nm制程,差了一大截 。那么为什么荷兰这么小的一个国家可以拥有这么顶级的企业呢?原因一:ASML出身名门 。ASML并不是一家白手起家的公司,而是从著名电子制造商飞利浦独立出来的一个公司,背后肯定有相关的人员、经济上的资助 。原因二:不拘一格降人才 。与我们想象中不同,ASML的光刻机中超过90%的零件都是向外采购的,这与他原来的对手,尼康和佳能是完全不同的 。
正是因为这样的政策,使得他们能够在整个设备的不同部位同时获得世界上最先进的技术,而他们自身也可以腾出手来在部件整合和客户需求上做文章,从而在日新月异的芯片制造行业取得竞争优势 。而这种高新技术行业马太效应特别明显,一旦有一点差距,很快就会迅速拉大 。原因三:对核心技术的掌握 。最先进的EUV光刻技术,ASML拥有世界第二的专利申请量,说明即便是广泛地外包零件,他们依然对核心技术有着不懈的追求 。
↑蔡司也是ASML的合作伙伴,负责光学模组的生产↑原因四:独特的合作模式 。ASML有一个非常奇特的规定,那就是只有投资ASML,才能够获得优先供货权,意思就是要求他自己的客户要先投资自己才行 。这样奇特的合作模式使得ASML获得了大量的资金,包括英特尔、三星、台积电、海力士都在ASML中有相当可观的股份,可以说大半个半导体行业都是ASML一家的合作伙伴,形成了庞大的利益共同体——就算是技术研发出现了失误,英特尔挤挤牙膏就好了,并不会威胁到ASML的市场占有率 。
而且不仅仅是来自合作伙伴的资金支持,更多的还有技术支持 。比如说刚刚提到了ASML在EUV光刻技术上拥有世界第二的专利申请量,而世界第一是德国的蔡司公司,第三是韩国的海力士公司,而这两家公司都是ASML的合作伙伴 。中国相关企业可以学习什么?我觉得可以从以下几个角度来借鉴ASML成功的经验:1)充分利用国内的资金和政策支持 。
比如说阿里已经投身AI芯片研发、华为海思则在芯片领域已经耕耘许久——而中兴事件也给了他们一个教训,不可对外国的支持太过于依赖,而这种不安全感、对技术的追求和海量的研发资金和人才储备,都是可以充分利用的资源;2)分散进攻,不搞大包大揽 。一些零件可以外包,甚至于可以暂时使用国外的零件、日后再寻求替代,总之就是不把复杂的光刻机的全部压力放在一家企业上,而是利用整个国家、甚至于全世界的资源 。
如果asml放开专利,中国可以造出7nm光刻机吗?
专利反而不是制约我们造出高端光刻机的关键 。说白了,专利是用公开的手段换取科技控制权,不公开就没有专利权,所以保密性和专利权一般不可兼得,除非公布的技术方案里,故意隐藏一些技术参数或者关键点,但是这样无法完全保护产生专利保护 。而对于光刻机,ASML有很多压箱底的保密技术,不会轻易泄露,而且高端光刻机的制造难度更在于,它是全球顶尖科技工艺的汇集,并且通过顶级芯片代工企业,在生产实践中的不断验证和强化 。
光刻机的制造目前被荷兰ASML、日本尼康和佳能、中国上海微电子四家所把持 。我国虽占一席之地,但只限低端设备 。下面试着分析一下专利对光刻机制造的影响 。光刻机的专利重要吗日本在光刻技术和光刻机制造领域起步较早,所以,日本的专利申请量最多,而且除了在本国大量布局之外,日本也比较重视在美国、韩国、中国台湾和中国大陆的专利布局 。
日本光刻有先发优势,在中低端光刻机的研发投入了大量精力,也布局了大量相关专利,所以在中低端光刻技术上,实力还是很雄厚的 。但是ASML后来居上,专注研发,且核心技术绝对保密,在专利建设上,也超过了尼康和佳能 。近几年关于高端EUV光刻机的专利数量,排名第一的是老牌王者卡尔蔡司(Carl Zeiss),ASML位列第二名,再依次为海力士、三星,它们同时也是ASML的合作伙伴,日本尼康及佳能分别位列第四及第六位 。
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