央视首次向全世界展示,最先进光刻机!

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央视首次向全世界展示,最先进光刻机!

在芯片制造中 , 拼的就是光刻机的先进程度 , 而国际上已知的光刻机领域的产业并不多 , 表现较好的更是寥寥无几 。 由此可见 , 制造一台先进的光刻机并不是一件容易的事情 。

【央视首次向全世界展示,最先进光刻机!】近日 , 我国的央视就展示出这样一个画面:一架结构复杂 , 体积庞大的科技机器 。 当然 , 它可不止有看起来那样特殊 , 根据介绍 , 这台机器价值四亿美元 , 内部零件超过25万个 , 是一台High-NA EUV极紫外光刻机 。
除此之外 , 它在光刻机领域的地位也是首屈一指的 , 是全球目前已存的最先进的光刻机 。

世界上最先进的光刻机诞生
在央视的镜头里 , 这台光刻机算得上是非常巨大了 , 科研人员站在他的身边 , 也显得小小一个 。 当然 , 有着这样的体型 , High-NA EUV极紫外光刻机的重量也是达到了惊人的180吨 , 25万多个零件需要拆开来放在250个大号箱子里 , 需要7架波音747货机才能运走 。

光是移动它 , 就是一项巨大的挑战 。
当然 , 在这么多技术和器件的支持下 , High-NA EUV极紫外光刻机的身价高达四亿美金 , 它的任务也并不简单 , 使用波长仅13.5纳米的极紫外光 , 将电路图案投射到硅晶圆上 , 并在狭小的芯片空间 , 雕刻上百亿个晶体管 , 而每个需要雕刻的晶状体却只是病毒体积的千分之一 。
而这样细致的工作 , 普通的光源远远达不到标准 , 于是科学家们就研发出每秒钟数万次激光轰击液态锡靶的技术 , 研发出波长仅有13.5纳米的极紫外光 , 但是这种光能够吸收空气 , 所以在实验过程中 , 必须保持周围环境是真空状态 。

然而 , 解决了一个问题 , 新的问题接踵而至:普通光源是可以被玻璃反射的 , 但该光线根本不会被传统玻璃所影响 , 所以只能通过特制的反射镜对光线进行反射 , 而这些反射镜则需要几十层超薄材料 , 且对平整度有相当严格的要求 。
放眼国际 , 能够制造该反射镜的企业寥寥无几 。

所以说 , 整个光刻机制造的过程和需要的技术都非常严苛 , 任何一个小环节出现问题 , 都有可能导致上亿的美元打水漂 , 很多公司更是连连摇头 , 称有图纸也造不出来 , 只有荷兰ASML一家能把它们组装起来并让它工作 。
国际中那些芯片巨头这次也非常谨慎 , 四亿美元的价格已经是传统光刻机的两倍 , 就算是财大气粗的几个大公司 , 也必须考虑该光刻机能否带来经济效益 。

目前全球仅交付五台High-NA EUV光刻机分别落户于三大芯片巨头 , 他们分别是英特尔、台积电和三星 , 但被记者采访时问及是否会在下一个项目中使用该技术时 , 得到的答案却是否定的 。
由此可以看出 , 对于该光刻机来说 , 技术价值与商用价值并不对等 , 特别是在当下竞争激烈的芯片市场中 , 更是要精打细算每一笔投资 , 将利益最大化 。

光刻机背后的博弈
这次央视报道该光刻机绝非偶然 , 这台号称是最先进的设备上 , 映射出的是国际之间紧张的博弈 。

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