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“中国能在光刻机领域实现弯道超车吗？” 这是一个过去十多年里国际半导体圈反复争论的问题 。 光刻机是芯片制造的关键设备 ， 而其中最难啃的一块硬骨头 ， 就是极紫外光刻机（EUV）的光源技术 。
【哈工大正式宣布，ASML的计划要落空了，外媒：彻底挡不住了】
从ASML一家独大的局面 ， 到哈工大官宣的技术突破 ， 这个问题似乎正在逐渐被回答：中国 ， 真的做到了 。
2024年末 ， 哈尔滨工业大学宣布成功研发“放点等离子体极紫外光刻光源”技术 ， 一举解决了EUV光刻机中最棘手的光源问题 。 这项技术不仅实现了13.5nm的精度 ， 还成本更低、更高效 ， 直接打破了欧美对这一领域长达十多年的技术封锁 。 正如外媒评价的那样 ， “中国的科技进步再也挡不住了 。 ”
过去提起EUV光刻机 ， 人们的第一反应一定是ASML 。 这家荷兰企业不仅垄断了EUV光刻机的全球市场 ， 还凭借领先的技术 ， 把芯片制造的“命脉”牢牢攥在手里 。 EUV光刻机最关键的地方在于其光源：想在芯片上刻出纳米级的线路 ， 光的波长必须非常短 。 而极紫外光刻光源的波长只有13.5nm ， 但要实现这一波长 ， 技术难度堪称“登月级别” 。 ASML靠着激光等离子体技术解决了这个难题 ， 一台光刻机光是光源模块就要耗费几千万美元 。
哈工大的突破正是在这里“抄了近道” 。 相比ASML依赖高成本的激光等离子体路线 ， 哈工大采用了更创新的“放点等离子体”方案 ， 不仅在精度上达到了国际标准 ， 还有效降低了光源的制造成本 。 这样一来 ， 中国不仅摆脱了欧美的技术封锁 ， 还可能在性价比上形成竞争优势 。
当然 ， 这项技术并非凭空而来 。 早在这次技术官宣之前 ， 中国的科研团队已经在这一领域奋战多年 。 例如 ， 中科院长春光机所早在几年前就曾取得过EUV光源的突破 ， 但由于技术路径与ASML类似 ， 依然存在高昂的成本问题 。 可以说 ， 哈工大的成果站在了前人的肩膀上 ， 为解决这一“卡脖子”难题贡献了独特的中国方案 。
在EUV光刻机的研发中 ， 光源只是一个部分 。 中国的科研团队深知 ， 只有光源技术突破是不够的 ， 要打破ASML的技术垄断 ， 必须实现多点开花 。
其中 ， 微缩投影光学系统就是EUV光刻机的另一个核心技术 。 这一系统主要负责将光源精准投影到芯片表面 ， 相当于整个设备的“火眼金睛” 。 多年来 ， 中国在这一领域持续发力 ， 多个高校和科研机构联合攻关 ， 不仅提升了投影的精度 ， 还优化了制造过程的稳定性 。 这些技术进展 ， 为国内EUV光刻机的全面自主化奠定了坚实的基础 。
而在光刻机的工作效率上 ， 双工件台技术更是不可或缺 。 简单来说 ， 这项技术能让光刻机在工作时 ， 一边完成芯片的光刻 ， 一边准备下一个芯片 ， 相当于装上了“引擎” ， 极大提高了生产效率 。 过去 ， 这一技术也被ASML垄断 ， 但近几年 ， 中国在这一领域的研发速度同样令人刮目相看 。 可以说 ， 从光源到光学系统再到工件台 ， 中国在EUV光刻机上的突破已经形成了全链条式的攻坚成果 。
哈工大的突破并非一夜之间的奇迹 ， 而是中国半导体行业长期积累的结果 。 从中芯国际的梁孟松到无数奋战在科研一线的科学家 ， 中国在技术封锁下摸爬滚打 ， 一步步逼近世界顶尖水平 。
回顾过去 ， 中芯国际曾在梁孟松的带领下 ， 将7nm工艺推进到量产边缘 ， 仅仅因为设备禁运才没能更进一步 。 这段历史证明 ， 技术封锁虽然能带来一时的压制 ， 但也会激发被封锁者的潜力 。 正是因为多年来积累下的经验和技术 ， 才让中国有底气在光刻机领域接连突破 ， 最终迎来了哈工大的成功官宣 。
在国际上 ， ASML的态度则充满矛盾 。 一方面 ， 其CEO克里斯托弗·富凯曾多次“唱衰”中国技术 ， 称中国芯片技术落后国际水平10-15年；另一方面 ， 他又不得不承认 ， 中国的科技进步“比预想中更快” 。 可以说 ， ASML在面对中国追赶时的复杂心理 ， 正是中国技术崛起的最好注脚 。
哈工大的突破 ， 不仅是中国半导体产业的一次胜利 ， 更是全球科技格局的一次重要重塑 。 过去 ， 中国在芯片制造上的短板一直被视为“痛点” ， 而随着EUV光刻机关键技术的逐步攻克 ， 这个“痛点”正在迅速转变为优势 。
如果未来中国能在光刻机领域实现完全自主化 ， 全球芯片产业链将迎来怎样的变局？不仅欧美国家对中国技术封锁的手段将失去作用 ， 更多发展中国家也将有机会摆脱对欧美技术的依赖 。 这种影响不仅限于经济层面 ， 更是一次科技领域的权力再分配 。
当然 ， 前路依然充满挑战 。 从技术落地到量产 ， 再到与国际巨头的正面竞争 ， 中国还有很长的路要走 。 但无论如何 ， 哈工大的这次突破无疑为中国的半导体产业注入了一剂强心针 。 正如外媒所说 ， “中国的科技崛起已经势不可挡 。 ”
科技封锁的墙越高 ， 逆风而行的中国步伐就越坚定 。
时代之光 ， 未来已来 。
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